中微公司迎第3000台CCP刻蚀设
备反应腔付运里程碑

证券时报e公司讯，近日
，中微(wēi)半(bàn)导体(tǐ)设备（上海）股份有限公司（以下(xià)简称“中微公司”）的电容耦合等离子体（CCP）刻蚀设备第3000台反应(yīng)腔顺利付运国内(nèi)一家中微公司迎第3000台CCP刻蚀设备反应腔付运里程碑先进的半导(dǎo)体芯片制造商。

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